626B01TDE型美国MKS电容压力计是机电式仪表，可以测量压力和真空。电容计将薄隔膜中的压力调制运动转换为与压力成比例的电信号。压力传感器是薄隔膜，暴露在通过入口管测量的压力或真空中。电极安装在隔膜后面的参考腔中。过程和参考腔之间的压力差会使隔膜略微偏转，从而改变隔膜与电极之间的距离。该距离的变化会产生隔膜和电极之间的电容变化，从而产生与压力变化成比例的电信号。

626B01TDE型美国MKS电容压力计产品应用介绍如下：

测量流体压力的仪器。通常都是将被测压力与某个参考压力(如大气压力或其他给定压力)进行比较，因而测得的是相对压力或压力差。按工作原理不同可分为液柱式、弹性式和传感器式3种形式。液柱式如U型管压力计、排管压力计等，是根据流体静力学原理将压力信号转变为液柱高度信号，常使用水、酒精或水银作为测压工质。弹性式如包登管压力计，将压力信号转变为弹性元件的机械变形量，以指针偏转的方式输出信号。工业系统中多使用此类压力计。压力传感器的原理是将压力信号转变为某种电信号，如应变式，通过弹性元件变形而导致电阻变化；压电式，利用压电效应等。液柱式压力计结构简单，灵敏度和精确度都高，常用于校正其他类型压力计，缺点是体积大、反应慢、难于自动测量。弹性式压力计使用方便、测压范围大，但精度较低，同样不能自动测量。各种压力传感器均能小型化，比较精确和快速测量，尤能测量动态压力，实现多点巡回检测、信号转换、远距离传输、与计算机相连接、适时处理等，因而得到迅速发展和广泛应用。

626B01TDE型美国MKS电容压力计规格：

类型真空/压力传感器

测量类型绝对

满量程压力范围0.1、0.25、1、2、10、20、100、500 或 1000 Torr 和公制当量

传感器温度周围

模拟输出0-10 VDC 进入 > 10 kΩ 负载

电连接器15 针 D 型超小型

零温度系数0.005% FS/°C 用于 10 到 1000 Torr 范围

0.010% FS/°C 用于 2 Torr 范围

0.015% FS/°C 用于 1 Torr 范围

0.020% FS/°C 用于 < 1 Torr 范围

跨度温度系数读数的 0.04%/°C

工作温度范围0-50°C

解析度满量程的 0.001%

体积6.3 立方厘米

超压限制45 磅/平方英寸（310 千帕）

暴露材料Inconel® 和 Incoloy® 镍合金

电源要求±15 VDC (±5%) @ 35 mA

遵守CE 符合 EMC 指令 2004/108/EC

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