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美国bird 8865SC13型精密射频负载产品规格介绍

点击次数:247 更新时间:2024-09-12

  美国bird 8865SC13型精密射频负载为了最大限度地提高工艺的可重复性和一致性,现代等离子应用需要精确的射频功率调节和控制。确保向腔体准确且可重复地输送射频功率的关键要素是校准、调节和监控射频发生器。Bird 现在提供超稳定、低 VSWR 负载,当与精密功率传感器(如 Bird 4020 系列)一起使用时,可快速精确地测量发生器功率输出。8865SC13 不仅提供低 VSWR,而且在工艺关键频率下 VSWR 的总变化小于 0.1 dB。无需预热负载,也不存在因不同时间长度的校准而导致的可重复性风险。这可以最大限度地减少与此校准相关的错误,并控制更关键的工艺变量之一。

   美国bird 8865SC13型精密射频负载产品规格介绍如下:

额定功率1 千瓦频率范围和 VSWRDC 至 28 MHz @ 1.1 最大

VSWR 小于 1.05:1阻抗Ω50(标称)驻波比稳定性< 0.1 dB,稳定频率下 0 至 100% 额定功率稳定频率13.56兆赫±10千赫连接器“QC" 型 LC(母)- 通常供应联锁温控开关 - 可选常闭。236 °C (457 °F) 时打开热敏开关额定值115 伏交流电,10 安

230 伏交流电,5 安温度范围工作温度: +5 至 +40 °C (+41 至 +104 °F)

存储温度: -40 至 +45 °C (-40 至 +113 °F)高度1520 米(5000 英尺)湿度最大 95% 非冷凝。冷却方式油介电体和对流电流方面19.5 英寸 x 7.5 英寸 x 13.2 英寸

496 x 184 x 334 毫米重量32 磅

14.5 公斤结束黑色环氧树脂

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