美国BIRD 8921SC13油射线RF终止负载以实现最大的过程可重复性和一致性，现代等离子体应用需要精确的RF功率调节和控制。确保准确且可重复的RF电源到腔室的关键组件是RF发电机的校准，调节和监视。现在，Bird提供超稳的低VSWR负载，可快速，精确地测量发电机功率输出时，与精确的功率传感器（例如Bird 4020系列）一起使用。 8921SC13不仅提供较低的VSWR，而且在临界频率下VSWR的VSWR总变化少于0.1 dB。由于校准不同的时间长度，不需要负载热身或重复性风险。这可以大程度地减少与此校准相关的错误，并控制更关键的过程变量之一。

  美国BIRD 8921SC13油射线RF终止负载操作与维护要点如下：

‌安装规范‌：

使用扭矩扳手固定LC连接器，避免机械应力损伤接口3；

负载需竖直安装，确保冷却油均匀分布8。

‌校准要求‌：

配合4421A系列功率计进行定期零点校准，推荐周期12个月56；

校准过程中需固定信号源输出，通过标准衰减器修正系统误差6。

‌安全警示‌：

避免超过236℃工作温度，防止冷却油碳化失效13；

高功率测试时需启用互锁热开关功能，防止意外过热1。

‌典型配置方案‌：8921SC13负载 + BAN4020功率传感器 + 4421A功率计，构成射频功率校准系统

   美国BIRD 8921SC13油射线RF终止负载技术参数：

电力等级5 kW频率范围和VSWRDC至28 MHz @ 1.1最大。

VSWR小于1.05：1阻抗ω50（名义）VSWR稳定性<0.1 dB，稳定频率下的额定功率从0到100％稳定频率13.56 MHz±10 kHz连接器“ QC"类型LC（女性） - 通常提供互锁热开关 - 可选通常关闭。在236°C（457°F）处打开热开关等级115 VAC，10 A

230 VAC，5 A温度范围操作： +5至+40°C（+41至+104°F）

存储： - 40至+45°C（ - 40至40至+113°F）高度1520 m（5000英尺）湿度95％的无调最大。冷却方法油介电和对流电流方面32.8“ x 9.5" x 26.9“

832 x 241 x 681 mm重量126磅。

57公斤结束黑色环氧树脂

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