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美国lesker KF法兰铝氮化膜阀应用场景介绍

点击次数:4 更新时间:2025-07-29

  美国lesker KF法兰铝氮化膜阀以相对较低的成本为脏系统提供高容忍度。

最大泄漏率<1 x 10 -6 mbar LS -1

在压力范围10,000-1 x 10 -5的压力范围内运作最佳 mbar的压力范围内运作最佳

承受烘烤至60°C

提供硝酸和碳纤维隔膜版本

诸如有限元分析之类的技术用于优化这些阀的设计,同时使用氦质量光谱仪测试每个阀门可确保其符合严格的规范标准。

  美国lesker KF法兰铝氮化膜阀应用场景介绍如下:

镀膜设备‌:作为工艺气体通断控制阀,配合靶材溅射或蒸发源使用‌

‌真空冶金系统‌:在高温高压环境中隔离反应腔室‌

‌科研装置‌:同步辐射光源、电子显微镜的真空管路隔离‌

选型时需关注阀门通径、法兰标准、最高耐受温度(通常≥150°C)以及与铝氮化膜兼容的介质类型‌。维护需定期检查膜片疲劳状态,避免因反复形变导致破裂失效‌

  美国lesker KF法兰铝氮化膜阀规格表

压力Torr

Min: 7.50 X 10 -6 Torr

Max: 6750 Torr

MBAR

最小值: 1.00 x 10 -5 MBAR

最大: 9000 MBAR

PSI

131 PSI

费率泄漏率

1.00 x 10 -5 mbar*l/s

7.50 x 10 -6 torr*l/s

温度可烤

60.0ºC140ºF

阀体

材料铝合金

膜片

材料

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