美国BIRD BDS2接收器处理跨基本,谐波和交换频率的RF信号,从而可以准确计算功率,阻抗和相关指标。 美国BIRD BDS2接收器功能摘要如下: 特征 它做什么 技术利益 测量参数 同时实时捕获电压,电流和相位角度 - 至252 MHz。计算功率和阻抗。 提供RF信号行为的全视图 - 对于阻抗跟踪和腔室诊断的目的。 多频监视 同时测量: - 3个基本频率 -4个基本频率的4谐波 -6个基本调制产物,每个基本频率 通过多频发电机,过程优化,室指纹支持复杂的RF应用 测量精度 提供电压,电流和相位读数,校准范围的精度为±1% 提供适合过程资格,工具匹配和控制的高信心测量值。 实时复杂阻抗计算 连续计算阻抗(大小和相),反射系数和返回损失 对于匹配调整,过程优化和保持稳定的等离子体条件至关重要 脉冲RF模式 支持1 µs(500 ns)分辨率的时间分辨模式 非常适合脉冲测量,并增加了多频灵活性 频率回率 跟踪RF频率以高速和稳定性变化(最多2 GHz/sec) 确保准确测量敏捷频率发生器 
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