美国Alicat MCE和MCV-真空气体质量流量控制器
易于升级老化的热流量控制器
使用先进的Alicat MCE或MCV更新您的真空沉积设备。MCE具有与标准质量流量控制器相同的快速控制响应，其外形包括焊接的1/4“VCR接头，并且与SEMI标准MFC端对端匹配。

MCV将MCE与用于硬真空应用的集成气动截止阀结合在一起。将空气管路连接到截止阀，以防止在零设定点条件下受到污染。

多才多艺。 在监控流速的同时控制压力，动态选择另一种气体校准或使用COMPOSER™定义您自己的气体成分。
连接的。 通过Ethernet / IP，EtherCAT，DeviceNet，Profibus，Modbus（RTU和TCP / IP）或串行通信选项轻松集成到您的数字工业网络中。
耐用。 MCE和MCV系列流量控制器可暂时流动液体而不会被破坏。
美国Alicat MCE和MCV-真空气体质量流量控制器性能

可用范围：大0-20 slpm，小0-0.5 sccm /0-500sμlm（有关库存范围，请参阅零件号选项卡）
调节比：200：1（MCE / MCV）或100：1（MCES / MCVS）
标准精度校准，NIST可追溯：+/-（读数的0.8％+满量程范围的0.2％）
可选的高精度校准，NIST可追溯：+/-（读数的0.4％+满量程范围的0.2％）
重复性：满量程范围的0.2％
典型控制响应时间常数：50-100 ms（PID调节时低至25 ms）
气动阀门泄漏完整性（MCV）：1 x 10 -9 atm scc / sec大氦气
无需预热时间
美国Alicat MCE和MCV-真空气体质量流量控制器运行条件

兼容气体：98（MCE / MCV）或130（MCES / MCVS）预加载可选气体校准; 可与COMPOSER定义的其他混合物 
工作温度：-10°C至+ 60°C
大内压（静态）：145 psig（160 psia）
耐压：175 psig（190 psia）
STP / NTP：用户可选择（默认为25°C和1 atm STP / 0°C和1 atm NTP）

美国Alicat MCE和MCV-真空气体质量流量控制器*型号推荐：

MCE-0.5SCCM-D 
MCE-1SCCM-D 
MCE-2SCCM-D 
MCE-5SCCM-D 
MCE-10SCCM-D 
MCE-20SCCM-D 
MCE-50SCCM-D 
MCE-100SCCM-D 
MCE-200SCCM-D 
MCE-500SCCM- D 
MCE-1SLPM-D 
MCE-2SLPM-D 
MCE-5SLPM-D 
MCE-10SLPM-D 
MCE-20SLPM-D

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